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J-GLOBAL ID：200903057715165802

光記録媒体およびその製造方法

Inventor： 浅野 睦己 ,  河原 祐路
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999038927
Publication number (International publication number)：2000242984
Application date： Feb. 17, 1999
Publication date： Sep. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 微小ピッチにおいても優れた記録再生特性を有する光記録媒体を提供する。【解決手段】 基板上に形成された連続溝のピッチPを300〜450nm 、溝の深さDを40nm以上、溝の半値幅をWとしたとき、 W/Pが0.5以下である光記録媒体であり、このような光記録媒体は、露光・現像して得られるフォトレジストパターン上に、SiO2、Si3N4やAl2O3等の誘電体薄膜を形成し、電鋳により金属スタンパを形成後に、該薄膜を除去する工程を経て製造されたスタンパを用いることにより得ることができる。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された連続溝のピッチP、溝の半値幅W、溝の深さDが以下の関係で示されることを特徴とする光記録媒体。P:300nm以上450nm以下W/P:0.5以下D:40nm以上

IPC (4)：

G11B 11/10 511 ,  G11B 11/10 541 ,  G11B 7/24 561 ,  G11B 7/26 511

FI (4)：

G11B 11/10 511 C ,  G11B 11/10 541 D ,  G11B 7/24 561 M ,  G11B 7/26 511

F-Term (19)：

5D029WB03 ,  5D029WB14 ,  5D029WB17 ,  5D029WC01 ,  5D029WC10 ,  5D029WD10 ,  5D029WD11 ,  5D029WD12 ,  5D075EE03 ,  5D075FG18 ,  5D075GG07 ,  5D075GG14 ,  5D075GG16 ,  5D121AA02 ,  5D121BB06 ,  5D121CB07 ,  5D121CB08 ,  5D121GG04 ,  5D121GG22