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J-GLOBAL ID：200903057730533460

プローブカード

Inventor： 町田 一道 ,  古崎 新一郎
Applicant, Patent owner： 日本電子材料株式会社
Agent (1)： 大槻 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006029431
Publication number (International publication number)：2007212164
Application date： Feb. 07, 2006
Publication date： Aug. 23, 2007
Summary：

【課題】 第1基板と第2基板との接続作業が容易なプローブカードを提供することを目的とする。【解決手段】 複数本の接続配線を可撓性フィルムで一体的に保持し、その可撓性フィルムを湾曲させることにより接続部材6を形成する。これにより、可撓性フィルムによって一体的に保持された複数本の接続配線を、一度に湾曲させて、コンタクト基板4及びメイン基板5の電極41,51に接続することができる。したがって、複数本の接続配線をコンタクト基板4及びメイン基板5の電極41,51に1本ずつ接続するような場合と比べて、コンタクト基板4とメイン基板5との接続作業が容易である。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

コンタクトプローブに導通する複数の第1電極を有する第1基板と、 上記第1基板に対して平行に配置され、上記第1電極に対向する複数の第2電極を有する第2基板と、 上記第1基板及び上記第2基板の間に配置され、互いに対向する上記第1電極及び上記第2電極に接合されて、それらの電極を電気的に接続する複数本の接続配線と、 上記複数本の接続配線を互いに間隔を隔てて保持し、それらの接続配線とともに湾曲又は屈曲された状態で上記第1基板及び上記第2基板の間に配置された可撓性フィルムとを備えたことを特徴とするプローブカード。

IPC (2)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2)：

G01R1/073 E ,  H01L21/66 B

F-Term (7)：

2G011AA15 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• インターポーザ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-285236   Applicant：日本電子材料株式会社