弾性表面波デバイスおよび弾性表面波発振器

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：村上友一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008287745
Publication number (International publication number)：2009225420
Application date： Nov. 10, 2008
Publication date： Oct. 01, 2009
Summary：

【課題】電極指の線幅が変動した場合における周波数変動量の差を少なくし、量産化に適した弾性表面波デバイスを提供する。【解決手段】少なくともRayleigh型弾性表面波を励振させるための電極パターン14としてのIDT16を備え、前記弾性表面波のストップバンドの上限モードを励振させる弾性表面波デバイス10であって、IDT16を形成するための圧電基板12として、(φ,θ,ψ)で示すオイラー角表示で(0°,95°≦θ≦155°,33°≦|ψ|≦46°)のカット角で切り出された水晶基板を採用し、IDT16を構成する櫛歯状電極18(18a,18b)の電極指間に電極指間溝(溝28)を形成することで、溝28で挟まれた水晶部分を電極指台座30とし、電極指台座30の上面に電極指22が位置する構成としたことを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

少なくともRayleigh型弾性表面波を励振させるための電極パターンとしてのIDTを備え、前記弾性表面波のストップバンドの上限モードを励振させる弾性表面波デバイスであって、前記IDTを形成するための圧電基板として、(φ,θ,ψ)で示すオイラー角表示で(0°,95°≦θ≦155°,33°≦|ψ|≦46°)のカット角で切り出された水晶基板を採用し、前記IDTを構成する櫛歯状電極の電極指間に電極指間溝を形成することで、前記電極指間溝で挟まれた水晶部分を電極指台座とし、該電極指台座の上面に前記電極指が位置する構成としたことを特徴とする弾性表面波デバイス。

IPC (3)：

H03H 9/145 , H03H 9/25 , H03B 5/30

FI (5)：

H03H9/145 D , H03H9/25 C , H03H9/145 Z , H03H9/145 C , H03B5/30 A

F-Term (14)：

5J079AA08 , 5J079HA06 , 5J079HA22 , 5J079JA06 , 5J097AA21 , 5J097AA31 , 5J097BB01 , 5J097BB11 , 5J097DD04 , 5J097DD28 , 5J097GG02 , 5J097HA03 , 5J097KK07 , 5J097KK09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

弾性表面波装置および電子機器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-336996 Applicant：セイコーエプソン株式会社
反射反転型弾性表面波変換器及びフィルタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-023918 Applicant：東洋通信機株式会社

Cited by examiner (7)

弾性表面波素子および弾性表面波デバイス並びに電子機器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-125212 Applicant：エプソントヨコム株式会社
特開昭61-092011
特開平1-231412

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