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J-GLOBAL ID：200903057786212445

電極、及びその電極を有する表示装置

Inventor： 村上 裕彦 ,  山川 洋幸
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 石島 茂男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998089364
Publication number (International publication number)：1999265653
Application date： Mar. 18, 1998
Publication date： Sep. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】低電界で電子を放出でき、製造が容易な電極を提供する。【解決手段】耐熱性の配線膜13表面に金属系炭化物を付着させ、真空加熱し、多孔質炭素膜を形成して電極14にする。金属系炭化物を真空加熱する際、大気圧下では分解、溶融、又は昇華のいずれかが生じる温度を上限とすると、金属系炭化物は、大気圧下では分解しないのにも拘わらず、真空雰囲気中では分解し、多孔質炭素膜が得られる。その多孔質炭素膜はカーボンチューブやカーボンウィスカーが含まれており、低い電界で電子を放出することができので、低電圧駆動のFED2が得られる。

Claim (excerpt)：

耐熱物質と、前記耐熱物質上に形成された多孔質炭素膜を有する電極であって、前記炭素膜は、前記耐熱物質表面に付着された金属系炭化物が、大気圧下では分解、溶融、又は昇華のいずれかが生じる温度を上限として、真空雰囲気中で加熱されて形成されたことを特徴とする電極。

IPC (7)：

H01J 1/30 ,  C23C 14/18 ,  C23C 14/34 ,  C23C 20/06 ,  C23C 24/08 ,  H01J 9/02 ,  H01J 31/12

FI (7)：

H01J 1/30 F ,  C23C 14/18 ,  C23C 14/34 A ,  C23C 20/06 ,  C23C 24/08 C ,  H01J 9/02 B ,  H01J 31/12 C