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J-GLOBAL ID：200903057787122482

振動アクチュエータ

Inventor： 菅谷 功
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000106960
Publication number (International publication number)：2001298966
Application date： Apr. 07, 2000
Publication date： Oct. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、振動アクチュエータを振動子が相対運動部材に与える振動エネルギーが減衰しないように振動子を支持することを目的とする。【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明では、中空部分を有した円盤形状の振動子1と、前記振動子1を固定するベース部材31と、前記振動子1を前記ベース部材31に固定するために前記中空部分で支持する支持部材6とを有した振動アクチュエータにおいて、前記支持部材6は、一方が前記ベース部材31に固定され、かつ他方が振動子1に固定されており、ベース部材31に固定された部分と前記振動子1に固定された部分との間の部分に弾性部分を有したこととした。

Claim (excerpt)：

中空部分を有した円盤形状の振動子と、前記振動子を固定するベース部材と、前記振動子を前記ベース部材に固定するために前記中空部分で支持する支持部材とを有した振動アクチュエータにおいて、前記支持部材は、一方が前記ベース部材に固定され、かつ他方が振動子に固定されており、前記ベース部材に固定された部分と前記振動子に固定された部分との間の部分に弾性部分を有したことを特徴とする振動アクチュエータ。

F-Term (26)：

5H680AA01 ,  5H680AA06 ,  5H680BB01 ,  5H680BB13 ,  5H680BB15 ,  5H680CC02 ,  5H680DD01 ,  5H680DD23 ,  5H680DD24 ,  5H680DD39 ,  5H680DD40 ,  5H680DD53 ,  5H680DD57 ,  5H680DD59 ,  5H680DD67 ,  5H680DD73 ,  5H680DD85 ,  5H680DD88 ,  5H680DD92 ,  5H680DD97 ,  5H680EE01 ,  5H680EE10 ,  5H680FF08 ,  5H680FF33 ,  5H680GG23 ,  5H680GG41