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J-GLOBAL ID：200903057797006758

露光装置

Inventor：
藤井 敏昭

About 藤井 敏昭


Applicant, Patent owner：
株式会社荏原製作所

About 株式会社荏原製作所


Agent (1)： 吉嶺 桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998135934
Publication number (International publication number)：1999317343
Application date： May. 01, 1998
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】 光学材料の曇りによる照度低下や、パターンのズレ等の露光時の障害を無くした露光装置を提供する。【解決手段】 内部に空調装置9と、紫外域の光を放出する光源2を有する露光装置1において、前記紫外光が照射されている少なくとも1部に光触媒13〜15を設置することとしたものであり、前記露光装置内の空気流路には、吸着材、イオン交換繊維等のイオン性物質除去材11を設置することができる。
Claim (excerpt)：
内部に空調装置と、紫外域の光を放出する光源を有する露光装置において、前記紫外光が照射されている少なくとも1部に光触媒を設置したことを特徴とする露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (2)：
H01L 21/30 503 G ,  G03F 7/20 521
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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