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J-GLOBAL ID：200903057812444538

蒸着方法および蒸着装置

Inventor： 高木 悟 ,  三橋 善之 ,  矢上 輝行 ,  室伏 光寿
Applicant, Patent owner： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992129713
Publication number (International publication number)：1993295526
Application date： Apr. 22, 1992
Publication date： Nov. 09, 1993
Summary：

【要約】【構成】蒸着原料3を保持する原料ハース4を、薄膜を形成する基体6とほぼ垂直な回転軸の周りに回転させるとともに、プラズマガン1によって形成されたプラズマ流9を、蒸着原料のハース回転軸からずれた位置に導き蒸発させる。好ましくは、回転軸と垂直な断面が円形の原料ハースを用いる。【効果】成膜速度や薄膜特性の変動なく成膜できる。また、蒸着原料の有効利用と原料の供給が容易に行える。

Claim (excerpt)：

電子ビームを発生することによりプラズマ流を形成可能なプラズマガンを用いて蒸着原料を加熱し、プラズマ流に関して蒸着原料と反対側の基体上に薄膜を形成する蒸着方法であって、蒸着原料を保持する原料ハースを基体とほぼ垂直な回転軸の周りに回転させるとともに、蒸着原料の原料ハースの回転軸からずれた位置にプラズマ流を導くことを特徴とする蒸着方法。