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J-GLOBAL ID：200903057814700850

精密位置決め装置

Inventor： 佐藤 幹夫 ,  涌井 伸二 ,  浅田 克己
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992310282
Publication number (International publication number)：1994163359
Application date： Nov. 19, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 位置決め時間の短縮や、位置決め精度の向上を可能にする。【構成】 搬送物体の重心まわりの回転変位を計測する計測手段によって得られる回転変位情報を用いて、搬送物体の両側に位置する駆動源への制御指令値の分配率を決定する推力分配手段の分配率を補正する。

Claim (excerpt)：

搬送物体を非接触に案内する案内手段と、前記搬送物体の両側に駆動源が位置する駆動手段と、前記搬送物体の並進変位および重心まわりの回転変位を計測する計測手段と、前記搬送物体を所望の位置へ位置決め制御するための制御指令値を生成する制御手段と、前記搬送物体の並進変位情報に応じて前記駆動手段の各駆動源への制御指令値の分配率を決定する推力分配手段と、前記計測手段からの前記搬送物体の回転変位情報を用いて前記推力分配手段の分配率を補正する補正手段を有することを特徴とする精密位置決め装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (2)：

H01L 21/30 311 M ,  H01L 21/30 311 L