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J-GLOBAL ID：200903057838458057

磁気記録媒体、その製造方法、スパッタリングターゲット、および磁気記録再生装置

Inventor： 清水 謙治 ,  酒井 浩志
Applicant, Patent owner： 昭和電工株式会社
Agent (1)： 柿沼 伸司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000094153
Publication number (International publication number)：2001283427
Application date： Mar. 30, 2000
Publication date： Oct. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】SNR特性をより向上させた垂直磁気記録媒体を得ること。【解決手段】基板と、その上に磁化容易軸が基板に対し垂直に配向した垂直磁性膜とが設けられた磁気記録媒体において、基板と垂直磁性膜の間に、第1下地膜とその上に第2下地膜が設けられ、第1下地膜はカーボンを含む材料からなり、第2下地膜はCoおよびZrを含む材料からなるものであることを特徴とする磁気記録媒体、その製造方法、その製造に用いるターゲット材料、および該媒体を用いた磁気記録再生装置。

Claim (excerpt)：

基板と、その上に磁化容易軸が基板に対し垂直に配向した垂直磁性膜とが設けられた磁気記録媒体において、基板と垂直磁性膜の間に、第1下地膜とその上に第2下地膜が設けられ、第1下地膜はカーボンを含む材料からなり、第2下地膜はCoおよびZrを含む材料からなるものであることを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (4)：

G11B 5/738 ,  C23C 14/34 ,  G11B 5/64 ,  G11B 5/851

FI (4)：

G11B 5/738 ,  C23C 14/34 A ,  G11B 5/64 ,  G11B 5/851

F-Term (27)：

4K029AA02 ,  4K029BA24 ,  4K029BA34 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5D006BB02 ,  5D006BB07 ,  5D006CA01 ,  5D006CA05 ,  5D006CA06 ,  5D006DA03 ,  5D006EA03 ,  5D006FA09 ,  5D112AA03 ,  5D112AA05 ,  5D112AA11 ,  5D112AA24 ,  5D112BB05 ,  5D112BD02 ,  5D112BD03 ,  5D112BD04 ,  5D112FA04 ,  5D112FB04 ,  5D112FB06