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J-GLOBAL ID：200903057849290921
画像欠陥判別処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
磯村 雅俊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991264442
Publication number (International publication number)：1993108800
Application date： Oct. 14, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：
【要約】【目的】 画像欠陥の種類別の検出を可能とし、印刷の汚れやLSIのパターンの不良などを、画像処理技術を用いて自動検査する装置の精度を高める。【構成】 本発明の画像欠陥判別処理装置は、基準画像と被検査画像との画素毎の相違度データをアドレス対応に記憶する相違度画像データ記憶部と、記憶した相違度データ対応のアドレスを、予め定められた小領域に分割する小領域アドレス発生部と、この小領域毎に、相違度画像データ記憶部に記憶した相違度データと第1の閾値との比較を行ない、この第1の閾値を超えた相違度データの数が、予め任意に定めた第2の閾値を超えた場合に、この小領域の第1の閾値を超えた相違度データを画像欠陥として判定する相違度画素算出判定部とで構成される。
Claim (excerpt)：
画像欠陥の無い対象から得られる基準画像と、判別対象から得られた被検査画像との画素毎の相違度を求め、該相違度と、予め任意に設定された第1の閾値との比較に基づき、被検査対象の画像欠陥の判定を行なう画像欠陥判別処理装置において、上記基準画像と被検査画像との画素毎の相違度データを、アドレス対応に記憶する相違度画像データ記憶手段と、上記相違度画像データ記憶手段に記憶した相違度データ対応のアドレスを、予め定められた小領域に分割する小領域アドレス発生手段と、該小領域アドレス発生手段で分割された小領域毎に、上記相違度画像データ記憶手段に記憶した相違度データと、上記第1の閾値との比較を行ない、該第1の閾値を超えた上記相違度データの数が、予め任意に定めた第2の閾値を超えた場合に、該比較中の小領域の第1の閾値を超えた相違度データを、画像欠陥として判定する相違度画素算出判定手段とを設けたことを特徴とする画像欠陥判別処理装置。
IPC (4)：
G06F 15/62 405
, G01B 11/24
, G01N 21/88
, H01L 21/66
