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J-GLOBAL ID：200903057857450199
走査電子顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991312199
Publication number (International publication number)：1993182626
Application date： Nov. 27, 1991
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明の目的は反射電子像を観察しながら大形試料を傾斜させたり、X線検出を同時に行なうことにある。【構成】2個あるいは4個の反射電子検出器3および3 ́を対物レンズ1の下部磁極片の両側それも試料傾斜軸4と同一方向かつ対物レンズ1下面より上部に配置する構成で、その反射電子検出器3および3 ́の固定ホルダにはX線検出用の穴もしくは切り欠きが設けられている構成。
Claim (excerpt)：
走査電子顕微鏡等の電子線を集束させるための対物レンズの外部であって、試料傾斜軸の軸方向の対物レンズ下面より上部に反射電子検出器を配置したことを特徴とした走査電子顕微鏡。
IPC (2)：
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