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J-GLOBAL ID：200903057866052678

走査型荷電粒子顕微鏡

Inventor： 吉村 俊之 ,  戸所 秀男 ,  江角 真 ,  大高 正 ,  山本 治朗 ,  寺澤 恒男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997023469
Publication number (International publication number)：1998221046
Application date： Feb. 06, 1997
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】チャージアップの防止、およびパターン表面物質の同定を可能とした走査型荷電粒子顕微鏡を提供する。【解決手段】荷電粒子線の照射条件として少なくとも二条件を送置使用者の操作により、もしくは自動的に変化させて、この際に発生する信号を独立に取り込み、上記信号の演算により観察試料表面の構造を表示する機構を備える。

Claim (excerpt)：

観察試料に集束した荷電粒子線を照射するためのレンズ系、上記観察試料を載せて移動するステージ系、上記荷電粒子線を上記観察試料上で走査するために上記荷電粒子線を偏向するための偏向系、上記荷電粒子線照射に伴って上記観察試料の表面部分から発生する信号を捕獲する検出系、上記信号から得られる画像データを表示する表示系を含む走査型荷電粒子顕微鏡において、上記荷電粒子線を上記観察試料表面に照射するための照射条件として、少なくとも二条件を装置使用者の要求により、もしくは自動的に変化させる機構系、および、上記照射条件の変化に伴う荷電粒子光学系の調整を自動的に行う機構系を備え、少なくとも二条件の上記照射条件における上記信号を独立に取り込み、複数の上記信号、もしくは上記信号から得られる複数の画像データの処理により、上記観察試料表面の構造を表示する機構を備えたことを特徴とする走査型荷電粒子顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 15/00 ,  H01J 37/22 502

FI (2)：

G01B 15/00 B ,  H01J 37/22 502 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-031931
  
• 特開昭59-040527