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J-GLOBAL ID：200903057870964142

酸化珪素被膜の製造方法

Inventor： 岸本 広次 ,  高濱 孝一 ,  橋本 登 ,  出来 成人
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 西川 惠清 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996315344
Publication number (International publication number)：1998158010
Application date： Nov. 26, 1996
Publication date： Jun. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 製造コストや危険性を低くすることができ、また基材に対する制限を少なくすることができる酸化珪素被膜の製造方法を提供する。【解決手段】 ケイフッ化アンモニウムを含む水溶液中に(NH4 )2 SiF6+2H2 O⇔SiO2 +4HF+2NH4 Fの平衡を右に進める添加剤を添加して酸化珪素含有溶液を調製する。40°C以上の温度の酸化珪素含有溶液と基材2とを接触させて基材の表面に酸化珪素被膜3を形成する。特殊で高価な装置を用いなくても基材2の表面に酸化珪素被膜を形成することができる。また酸化珪素含有溶液はpHが約4の弱酸性であり、取扱上に大きな危険が伴わないで基材2の表面に酸化珪素被膜3を形成することができる。また酸でエッチングされ易い基材や変質し易い基材2にも製膜することができる。

Claim (excerpt)：

ケイフッ化アンモニウムを含む水溶液中に(NH4 )2 SiF6 +2H2 O⇔SiO2 +4HF+2NH4 Fの平衡を右に進める添加剤を添加して酸化珪素含有溶液を調製し、40°C以上の温度の酸化珪素含有溶液と基材とを接触させて基材の表面に酸化珪素被膜を形成することを特徴とする酸化珪素被膜の製造方法。

IPC (2)：

C01B 33/12 ,  C03C 17/25

FI (2)：

C01B 33/12 C ,  C03C 17/25 A