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J-GLOBAL ID：200903057871527730

基板観察装置

Inventor： 神津 尚士 ,  土坂 新一
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992132577
Publication number (International publication number)：1993322783
Application date： May. 25, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、基板の種類を問わず、マクロ観察とミクロ観察との切換えを短時間且つ高精度に行うことができると共に、マクロ観察時に発見された基板上の複数の欠陥部分を連続的且つ高精度にミクロ観察することができるコンパクトな基板観察装置を提供する。【構成】被検査基板15表面全体に照明光を照明し、反射照明光の光学的変化から被検査基板表面の欠陥部分を観察するマクロ観察系3と、検出された欠陥部分を拡大して観察するミクロ観察系5と、マクロ観察系とミクロ観察系との間を被検査基板を載置した状態で移動可能に構成され、被検査基板をマクロ観察系あるいはミクロ観察系の観察領域内に位置付けるスケール付きX-Yステージ7と、マクロ観察系に設けられたスポット照明装置19のスポット照明とミクロ観察系の対物光軸との間の相対座標を表示する座標表示装置9とを備える。

Claim (excerpt)：

被検査基板表面全体に照明光を照明し、反射光の光学的変化から前記被検査基板表面に存在する欠陥部分を観察するマクロ観察系と、このマクロ観察系を介して検出された前記欠陥部分を拡大して観察するミクロ観察系と、前記マクロ観察系と前記ミクロ観察系との間を前記被検査基板を載置した状態で移動可能に構成され、載置された前記被検査基板を前記マクロ観察系あるいは前記ミクロ観察系の観察領域内に位置付けるスケール付きX-Yステージと、前記マクロ観察系に設けられたスポット照明装置のスポット照明と前記ミクロ観察系の対物光軸との間の相対座標を表示する座標表示装置と、を備える基板観察装置。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/84 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/66