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J-GLOBAL ID：200903057894722468

アレイ基板および液晶表示装置

Inventor： 中村 謙次郎 ,  福田 加一
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 樺澤 襄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996195012
Publication number (International publication number)：1998039334
Application date： Jul. 24, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 画素電極のクラック、はがれを防止し、不純物の影響による画素電極の動作不良、光の干渉の影響を防止した液晶表示装置を提供する。【解決手段】 薄膜トランジスタ14上に窒化シリコン膜15を形成し、有機系絶縁膜のアクリル樹脂膜16を形成し、アクリル系樹脂膜16にコンタクトホール17を形成し、コンタクトホール17の内周面の含めてアクリル系樹脂膜16上に酸窒化シリコン膜18を形成する。画素電極19をコンタクトホール17の表面の酸窒化シリコン膜18の表面を介して薄膜トランジスタ14のドレイン電極5に電気的に接続し、アクティブマトリクスアレイ基板20を形成する。酸化シリコンでは、有機膜中の不純物、金属イオン、水の導通が良く、画素電極の動作不良に影響し、窒化シリコンでは、有機系絶縁膜であるポリイミド樹脂膜およびITOの画素電極との屈折率が違いすぎ、光の干渉が生じ、酸窒化シリコンであればこれらの問題は生じない。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板と、この絶縁性基板上に形成されたスイッチング素子と、このスイッチング素子上に絶縁膜を介して画素電極が形成されたアレイ基板において、前記絶縁膜は、スイッチング素子側に有機系絶縁膜、画素電極側に酸窒化シリコン膜を有することを特徴とするアレイ基板。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  H01L 29/786

FI (3)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 505 ,  H01L 29/78 619 A