位置検出装置および位置検出方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山口孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995333984
Publication number (International publication number)：1997152309
Application date： Nov. 29, 1995
Publication date： Jun. 10, 1997
Summary：

【要約】【課題】他の方式の位置合わせ機構による位置検出用マークの粗位置合わせを行うことなく、高精度な位置検出が可能な位置検出装置および方法。【解決手段】第1領域と第2領域との長さの比が変化するように第1領域と第2領域とが所定のピッチで交互に配列された回折格子マークを有する被検物体に対して可干渉な光束を照射するための照射光学系と、可干渉な光束により回折格子マーク上に形成される干渉縞と回折格子マークとを相対的に走査するための走査手段と、可干渉な光束の照射により回折格子マークから発生する回折光を検出信号に光電変換するための光電検出器と、回折格子マークの構造によって変調される回折光の強度が所定の状態となるときの検出信号の出力に基づいて回折格子マークの位置を検出するための検出手段とを備えている。

Claim (excerpt)：

所定の方向に沿った第1領域と第2領域との長さの比が変化するように、前記所定方向に沿って第1領域と第2領域とが所定のピッチで交互に配列された回折格子マークを有する被検物体に対して可干渉な光束を照射するための照射光学系と、前記可干渉な光束により前記回折格子マーク上に形成される干渉縞と前記回折格子マークとを相対的に走査するための走査手段と、前記可干渉な光束の照射により前記回折格子マークから発生する回折光を検出信号に光電変換するための光電検出器と、前記所定の方向に沿った第1領域と第2領域との長さの比が変化する前記回折格子マークの構造によって変調される前記回折光の強度が所定の状態となるときの前記検出信号の出力に基づいて、前記回折格子マークの位置を検出するための検出手段とを備えていることを特徴とする位置検出装置。

IPC (2)：

G01B 11/00 , H01L 21/027

FI (4)：

G01B 11/00 G , H01L 21/30 502 M , H01L 21/30 522 D , H01L 21/30 525 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平1-285803
特開平1-285803
特開平1-285803

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