Pat

J-GLOBAL ID：200903057926022862

プラズマガスによる有機誘電ポリマー材料の異方性エッチング方法

Inventor： オリバー・ジュベール ,  デービィッド・ファード
Applicant, Patent owner： フランス テレコム
Agent (1)： 岡田 次生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000030132
Publication number (International publication number)：2000269185
Application date： Feb. 08, 2000
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】 プラズマガスによる有機誘電ポリマー材料の異方性エッチング方法及びマイクロエレクトロニクスへの応用。【解決手段】 本発明による方法は、プラズマを用いて誘電有機ポリマー材料をエッチングすることからなり、そのプラズマのガス相はO2/NH3、O2/H2O、O2/CH4、またはO2/H2からなる。集積回路における相互接続の線及びホールのエッチングに応用する。

Claim (excerpt)：

誘電有機ポリマー材料で作られた基板を、プラズマを用いて異方性エッチングする方法であって、該プラズマのガス相がO2/NH3、O2/H2O、O2/CH4、またはO2/H2からなり、該ガスの混合濃度が体積で40%以下であることを特徴とする方法。