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J-GLOBAL ID：200903057944436550

制御プログラム及び/又はデータ更新方法

Inventor： 森岡 利伸 ,  横田 宗泰
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 平木 祐輔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996121186
Publication number (International publication number)：1997305392
Application date： May. 16, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 露光装置制御用コンピュータの制御プログラムや制御データの更新を簡便に行う。【解決手段】 露光装置の制御用コンピュータ33a〜33dを管理用コンピュータ60にネットワーク61で接続し、管理用コンピュータから制御用コンピュータの装置制御に使用されていないディレクトリに更新すべき制御プログラムやデータを転送する。この転送処理の優先度は露光装置制御の優先度より低く設定する。転送後、露光装置の運転を止め、更新すべき制御プログラムやデータが転送されたディレクトリの名称を更新前の制御プログラムやデータが入っていたディレクトリの名称に変更する。

Claim (excerpt)：

複数台の露光装置を統括的に制御する管理用コンピュータにネットワークで接続された各露光装置の制御用コンピュータの制御プログラム及び/又はデータを更新する方法において、前記管理用コンピュータから前記露光装置制御用コンピュータのそれぞれの装置制御に使用されていないディレクトリに更新すべき制御プログラム及び/又はデータを転送し、前記露光装置の運転を止めた後、前記更新すべき制御プログラム及び/又はデータが転送されたディレクトリの名称を更新前の制御プログラム及び/又はデータが入っていたディレクトリの名称に変更することを特徴とする更新方法。

IPC (4)：

G06F 9/06 540 ,  G03F 7/20 521 ,  G06F 9/445 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G06F 9/06 540 C ,  G03F 7/20 521 ,  G06F 9/06 420 J ,  H01L 21/30 516 Z