Pat

J-GLOBAL ID：200903057987106171

真空排気装置

Inventor： 江川 亘 ,  清水 孝志
Applicant, Patent owner： ダイキン工業株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996136357
Publication number (International publication number)：1997317641
Application date： May. 30, 1996
Publication date： Dec. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 排気開始時および水蒸気圧付近でのダストの舞い上がりを防止する。【解決手段】 排気条件格納部6には、初期排気期間においては真空チャンバ1内に乱流が発生しないように、さらに、水蒸気圧期間では水分の沸騰が生じないように、予め設定された真空ポンプ2の目標回転数,回転数変化率およびステージ切替時間を第1,第2ステージ毎に格納しておく。回転制御部7は、格納された回転数変化率で真空ポンプ2の回転数を上げ、目標回転数に至るとその目標回転数を保持する。そして、経過時間がステージ切替時間になると次のステージへの切り換え又は回転数制御動作の終了を行う。こうして、初期排気期間における真空チャンバ1内での乱流の発生と水蒸気圧期間における沸騰の発生とを防止して、ダストの舞い上がりを防止する。

Claim (excerpt)：

一端が真空チャンバ(1,11)に接続された管路(3,13)の他端に真空ポンプ(2,12)が接続された真空排気装置において、初期排気期間における上記真空チャンバ(1,11)内の圧力変化が上記真空チャンバ(1,11)内に乱流が生じない程度の圧力変化になるように、さらに、上記真空チャンバ(1,11)内の圧力が水蒸気圧である水蒸気圧期間においては沸騰が生じない程度の圧力変化で水分を蒸発させるように、予め設定された排気条件が格納された排気条件格納部(6,16)と、上記排気条件格納部(6,16)に格納された排気条件に従って、上記真空ポンプ(2,12)の回転数を制御する真空ポンプ制御部を備えたことを特徴とする真空排気装置。

IPC (2)：

F04B 37/16 ,  F04C 25/02

FI (4)：

F04B 37/16 A ,  F04B 37/16 E ,  F04B 37/16 Z ,  F04C 25/02 B