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J-GLOBAL ID：200903058056881887
走査型トンネル顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991177967
Publication number (International publication number)：1993026612
Application date： Jul. 18, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：
【要約】【構成】走査型トンネル顕微鏡の走査装置において探針8及び試料12の表面の損傷防止、信頼性の高いデータ採取及び簡便、かつ、高精度の仕事関数測定のために、走査素子7と探針8の間に、圧力に対し信号を発する素子を設け、探針8が試料12の表面に接触したとき、表示装置に探針8が接触したことを指示する、あるいは装置の動作を中断する機構。【効果】探針および試料表面の損傷を防ぐことができ、仕事関数を簡単かつ高精度に求めることができる。
Claim (excerpt)：
三次元方向に駆動可能な駆動素子及び前記駆動素子に取り付けられた探針を備えた走査型トンネル顕微鏡において、前記駆動素子と前記探針の間に前記探針が試料表面に接触した時に信号を発する素子を設けたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (2)：
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