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J-GLOBAL ID:200903058074798385

格子板の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 縣 浩介
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991212837
Publication number (International publication number):1993034513
Application date: Jul. 29, 1991
Publication date: Feb. 12, 1993
Summary:
【要約】【目的】 格子溝をイオンビームエッチング法で形成する場合に、溝底が荒れた面になるのを防ぐ。【構成】 基板にホトレジストによる格子パターンを焼付け、CHF3 を用いた反応性イオンビームエッチングを行う。このとき反応ガスCHF3 にArガスを混合してエッチングを行う。【作用】 溝底の荒れの原因は反応性ガス分子のCが遊離堆積するのと、装置内他部からの金属のスパッタリングであるが、反応性ガスに混合したArのイオンにより、これらの溝底の堆積物が除去され、平滑な溝底が得られる。
Claim (excerpt):
基板面にホトレジストにより格子パターンを形成し、反応性イオンビームエッチング法により格子溝を形成する場合において、反応性ガスにArを混合してイオンビームエッチングを行うことを特徴とする格子板の製造方法。
IPC (4):
G02B 5/18 ,  C23F 4/00 ,  G01B 7/34 ,  H01J 37/20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特開平1-161302
  • 特開平3-253802
  • 特開平2-244002
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