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J-GLOBAL ID：200903058074798385
格子板の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
縣 浩介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991212837
Publication number (International publication number)：1993034513
Application date： Jul. 29, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 格子溝をイオンビームエッチング法で形成する場合に、溝底が荒れた面になるのを防ぐ。【構成】 基板にホトレジストによる格子パターンを焼付け、CHF3 を用いた反応性イオンビームエッチングを行う。このとき反応ガスCHF3 にArガスを混合してエッチングを行う。【作用】 溝底の荒れの原因は反応性ガス分子のCが遊離堆積するのと、装置内他部からの金属のスパッタリングであるが、反応性ガスに混合したArのイオンにより、これらの溝底の堆積物が除去され、平滑な溝底が得られる。
Claim (excerpt)：
基板面にホトレジストにより格子パターンを形成し、反応性イオンビームエッチング法により格子溝を形成する場合において、反応性ガスにArを混合してイオンビームエッチングを行うことを特徴とする格子板の製造方法。
IPC (4)：
G02B 5/18
, C23F 4/00
, G01B 7/34
, H01J 37/20
Cited by examiner (7)
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