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J-GLOBAL ID：200903058082697300

粒子励起X線放射分析装置

Inventor： 武山 邦彦
Applicant, Patent owner： 日新ハイボルテージ株式会社
Agent (1)： 成田 擴其
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995138841
Publication number (International publication number)：1996304312
Application date： May. 15, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 試料の深さ方向ないし3次元の元素分布を測定すること。【構成】 イオンビーム加速器1からのイオンビームIはスリット2とQレンズ3によってマイクロビームImに収束され、試料6に照射される。試料は3次元ゴニオテーブル9に取り付けられている。X線コリメータ13は細いスリット又は孔14を有し、その視野は直線状又は点状にフォーカスする。試料のイオン飛程領域とX線コリメータの視野の収束部を交わらせることにより、飛程領域における特定箇所からの特性X線をX線コリメータで抽出し、X線検出器7で検出する。ゴニオテーブルによって試料を移動させることにより、試料の面内方向、2次元の元素分布並びに深さ方向を含む3次元の元素分布を測定できる。X線コリメータを、感光性エッチングガラスで形成され、平行する複数のスリットを有するスリット板を複数枚積み重ねて構成することができる。

Claim (excerpt)：

マイクロビームを試料に照射する手段と、視野が直線状又は点状にフォーカスするX線コリメータと、このX線コリメータからのX線を検出する手段とを備えてなることを特徴とする粒子励起X線放射分析装置。

IPC (2)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/256

FI (2)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/256