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J-GLOBAL ID：200903058091517772
バルブ駆動制御方法およびバルブ駆動制御装置ならびに流動体供給制御装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994268547
Publication number (International publication number)：1996128389
Application date： Nov. 01, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：
【要約】【目的】 薬液などの流動体の流れを制御するためのバルブの作動を精度良く制御し得るようにする。【構成】 薬液は薬液供給部21から供給管路23を介して滴下ノズル22に案内される。この供給管路23には開閉バルブ24とサックバックバルブ25とが設けられている。それぞれのバルブ24,25は供給管路23に連通する連通部を有し、この連通部は弾性変形部材を介して制御媒体収容室に隣接しており、この中には減衰特性制御媒体が封入されている。この減衰特性制御媒体を介して前記弾性部材を駆動する駆動部材は、流動体の動的流動特性関数と減衰特性制御媒体の動的流動特性関数とにより得られた駆動条件値に基づいて制御される。
Claim (excerpt)：
連通部内を流れる流動体の動的流動特性関数と、前記連通部に弾性変形部材を介して形成された制御媒体収容室内の減衰特性制御媒体の動的流動特性関数とを求め、求められたこれらの動的流動特性関数に基づいて前記減衰特性制御媒体に加えられる駆動条件値を求め、求められたこの駆動条件値に基づいて前記減衰特性制御媒体を駆動してこの減衰特性制御媒体を介して前記連通部内の開度を制御することを特徴とするバルブ駆動制御方法。
IPC (4)：
F04B 43/02
, B01D 27/10
, B05B 9/03
, F16K 7/17
