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J-GLOBAL ID：200903058116529975
角速度センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994114291
Publication number (International publication number)：1995294262
Application date： Apr. 28, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 角速度センサにおいて、音叉振動子を支持する梁を、音叉振動の節で固定することにより、音叉振動を大きくして検出感度の向上を図る。【構成】 支持枠33に第1の支持梁部35を介して枠状の検出用捩れ振動子40を支持する。また、検出用捩れ振動子40からは第2の支持梁部36を介して枠状の音叉振動子37を支持する。このとき、音叉振動子37の節となる部分Pは第2の支持梁部36を構成するコ字状支持梁部36Bの先端部36B1 によって固定される。これにより、音叉軸(Y軸)回りの角速度ωが加わったときの捩れ振動による振動エネルギが外部に漏れるのを低減し、音叉振動子37の各振動板38を高い振動状態に保持し、角速度ωの検出感度を向上させる。
Claim (excerpt)：
基板と、該基板上に形成された支持枠と、音叉軸を軸中心とする音叉振動を行う一対の振動板を有する音叉振動子と、該音叉振動子を前記基板に対して前記支持枠を介して支持するため音叉軸上に設けられた支持梁と、前記音叉振動子の音叉軸を回動軸中心とする角速度が加わったときに、各振動板に生じるコリオリ力による捩れを伝達すべく、前記音叉振動子に連結された検出用捩れ振動子と、該検出用捩れ振動子の振動変位を音叉軸回りの角速度として検出する振動変位検出手段とを備え、前記音叉振動子の各振動板から生じる音叉振動の節となる部分を前記支持梁で固定してなる角速度センサ。
IPC (3)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
Cited by examiner (6)
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