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J-GLOBAL ID：200903058121577830
金属膜のパターニング方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994057199
Publication number (International publication number)：1995273426
Application date： Mar. 28, 1994
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：
【要約】【目的】金属膜をほとんどオーバーエッチングを生じさせることなく高精度にパターニングする。【構成】パターニングする金属膜2の上に、そのパターニング形状に対応する第1のレジストマスク3を形成するとともに、前記金属膜2の上に前記第1のレジストマスクの形成領域を避けて所定のバーコードに対応するパターンの第2のレジストマスク4を形成しておき、金属膜2をエッチングしながら第2のレジストマスクを形成した部分をバーコード読取器9により監視して、第2のレジストマスク4の下に残る金属膜2をバー要素とするバーコードパターンを読取ったときにエッチングを終了する。
Claim (excerpt)：
パターニングする金属膜の上に、そのパターニング形状に対応する第1のレジストマスクを形成するとともに、前記金属膜の上に前記第1のレジストマスクの形成領域を避けて所定のバーコードに対応するパターンの第2のレジストマスクを形成しておき、前記金属膜をエッチングしながら前記第2のレジストマスクを形成した部分をバーコード読取り手段により監視して、前記第2のレジストマスクの下に残る金属膜をバー要素とするバーコードパターンを読取ったときにエッチングを終了することを特徴とする金属膜のパターニング方法。
IPC (2)：
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