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J-GLOBAL ID：200903058164319079

高透過率透明導電膜及びその製造方法

Inventor： 水野 雅夫 ,  宮本 隆志
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 明田 莞
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998133352
Publication number (International publication number)：1999322333
Application date： May. 15, 1998
Publication date： Nov. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 可視光透過率が高く90%以上であり、又、電気抵抗率も低い透明導電膜及びその製造方法、特に、成膜温度:250 °C以下の成膜条件で成膜される場合においても得られる膜の電気抵抗率が低く、1×10-2Ωcm以下であると共に、可視光透過率が90%以上である透明導電膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】 Inの酸化物を主成分とする透明導電膜であって、Geを含有して可視光透過率が90%以上であることを特徴とするもの。

Claim (excerpt)：

Inの酸化物を主成分とする透明導電膜であって、Geを含有して可視光透過率が90%以上であることを特徴とする高透過率透明導電膜。

IPC (8)：

C01G 15/00 ,  C01G 17/00 ,  C03C 17/245 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 339 ,  H01L 21/28 301

FI (8)：

C01G 15/00 B ,  C01G 17/00 ,  C03C 17/245 A ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 M ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 339 Z ,  H01L 21/28 301 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭62-202415