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J-GLOBAL ID：200903058212236687

振動アクチュエータ

Inventor： 松本 豪 ,  高木 忠雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 鎌田 久男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996159334
Publication number (International publication number)：1998014263
Application date： Jun. 20, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 縦振動及び屈曲振動を発生する振動アクチュエータを1点で支持すると、位置制御が困難になる。【解決手段】 弾性体2と,弾性体2に装着されて1次の縦振動と2次の屈曲振動とを調和的に発生する圧電素子3a,3bとを備え、弾性体2に加圧接触する相対運動部材との間で相対運動を発生する振動アクチュエータ1であって、弾性体2に発生する屈曲振動の2つの節位置に、支持部材4a,4bがそれぞれ設けられる。

Claim (excerpt)：

弾性体と,前記弾性体に装着されて1次以上の縦振動と2次以上の屈曲振動とを調和的に発生する電気機械変換素子とを備え、前記弾性体に加圧接触する相対運動部材との間で相対運動を発生する振動アクチュエータであって、前記弾性体に発生する前記屈曲振動の複数の節位置又はその近傍に、前記弾性体を支持する支持部材がそれぞれ設けられることを特徴とする振動アクチュエータ。