曲面グレーティングの製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：奈良武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994282300
Publication number (International publication number)：1996146209
Application date： Nov. 16, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】簡単な装置で、かつ厳密な環境管理を必要とせず、任意のパターンのグレーティングを曲面上に形成する。【構成】予め曲面に加工された基板1上に感光剤(フォトレジスト2)を塗布する。このフォトレジスト2をレーザービーム描画によって露光する。その後、露光されたフォトレジスト2を現像することによって凹凸を形成し、曲面グレーティングを製造する。

Claim (excerpt)：

予め曲面に加工された基板上に感光剤を塗布し、この感光剤をレーザービーム描画によって露光した後、露光された感光剤を現像することによって凹凸を形成する工程を有することを特徴とする曲面グレーティングの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開昭55-131730
特開平1-267505
特開昭60-191202

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