研磨方法及び研磨装置並びに磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤村康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998376603
Publication number (International publication number)：2000185927
Application date： Dec. 23, 1998
Publication date： Jul. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】簡便な方法及び装置でガラス基板の内周端面及び/又は外周端面を平滑に研磨でき、ガラス基板表面の高清浄化を高いレベルで達成しうる研磨方法及び研磨装置等を提供する。【解決手段】中心部に円孔を有する円板状のガラス基板(MD基板1)の内周端面部分等に、遊離砥粒を含有した研磨液50を供給するとともに、前記ガラス基板の内周端面等に研磨ブラシ(回転ブラシ4)を回転接触させて研磨する。

Claim (excerpt)：

中心部に円孔を有する円板状のガラス基板の内周端面部分及び/又は外周端面部分に、遊離砥粒を含有した研磨液を供給するとともに、前記ガラス基板の内周端面及び/又は外周端面に研磨ブラシ又は研磨パッドを回転接触させて研磨することを特徴とする研磨方法。

IPC (6)：

C03B 23/08 , B24B 9/00 601 , B24B 9/08 , B24B 29/00 , C03C 19/00 , G11B 5/84

FI (6)：

C03B 23/08 , B24B 9/00 601 J , B24B 9/08 C , B24B 29/00 F , C03C 19/00 A , G11B 5/84 A

F-Term (38)：

3C049AA06 , 3C049AA07 , 3C049AA09 , 3C049AA18 , 3C049AB04 , 3C049AB08 , 3C049AC04 , 3C049CA01 , 3C049CA06 , 3C049CB02 , 3C049CB03 , 3C049CB05 , 3C049CB10 , 3C058AA06 , 3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AA18 , 3C058AB04 , 3C058AB08 , 3C058AC04 , 3C058CA01 , 3C058CA06 , 3C058CB02 , 3C058CB03 , 3C058CB05 , 3C058CB10 , 3C058DA17 , 4G015BB05 , 4G059AA09 , 4G059AB03 , 4G059AB19 , 4G059AC03 , 5D112AA02 , 5D112BA03 , 5D112GA02 , 5D112GA04 , 5D112GA10 , 5D112GA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

円環状ディスクのブラシ研磨方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-222033 Applicant：株式会社八紘エンジニアリング

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