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J-GLOBAL ID：200903058286126239

結像方法

Inventor：
ネリセン,アントニウス イェー エム

About ネリセン,アントニウス イェー エム


Applicant, Patent owner：
コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ

About コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ


Agent (3)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003584828
Publication number (International publication number)：2005522739
Application date： Apr. 14, 2003
Publication date： Jul. 28, 2005
Summary：
光学像は多くの副照射により放射線感応層(5)において形成され、その副照射各々において、副像パターンに従って、光バルブ(21乃至25)のアレイと収束素子(91乃至95)の対応するアレイとがレジスト層におけるスポット(111乃至115)を形成するために用いられる。副照射の間に、レジスト層はそれらのアレイに対して移動される。明るく且つ好適に規定されたスポットが、収束素子として屈折レンズを用いることにより得られる。放射線感応層は基板上部におけるレジスト層とすることが可能であり、ここで、素子は、リソグラフィ又はプリンタにおいて用いられる帯電層により設定される。
Claim (excerpt)：
放射線感応層における光学像を形成する方法であって: 放射線ソースを提供する段階; 放射線感応層を提供する段階; 前記放射線ソースと前記放射線感応層との間に個々結合される光バルブの2次元アレイを位置付ける段階; 前記光バルブアレイと前記放射線感応層との間に放射線変換素子の2次元アレイを位置付ける段階であって、各々の変換素子は前記光バルブの異なる1つに対応し、前記放射線感応層におけるスポット領域に前記対応する光バルブからの放射線を収束するように機能する、段階;及び 放射線感応層領域と、一方で、対応する光バルブ/収束素子の対とを、他方で、互いに対して走査することにより該放射線感応層領域において像部分を同時に書き込む段階であって、前記光バルブにより書き込まれる前記像部分に依存してオン及びオフ状態の間で各々の光バルブをスイッチングする、段階; を有する方法であり、 屈折レンズの方式で収束素子を使用し; 前記の2つの光バルブアレイと放射線変換素子アレイはスポットのマトリクスアレイを形成するために使用され、前記マトリクスは、前記スポットのサイズより実質的に大きい ピッチを有する; ことを特徴とする方法。
IPC (2)：
G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (2)：
G03F7/20 502 ,  H01L21/30 509
F-Term (18)：
2H097AA03 ,  2H097AA07 ,  2H097AB05 ,  2H097BB01 ,  2H097CA06 ,  2H097CA07 ,  2H097CA17 ,  2H097EA01 ,  2H097GA45 ,  2H097LA09 ,  2H097LA10 ,  2H097LA11 ,  5F046BA02 ,  5F046CA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB18 ,  5F046CB24 ,  5F046CC15
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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