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J-GLOBAL ID：200903058315356540

マイクロ波放電反応装置の電極装置

Inventor： 佐藤 徳芳 ,  飯塚 哲 ,  中川 行人
Applicant, Patent owner： 佐藤 徳芳 ,  飯塚 哲 ,  日電アネルバ株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992190039
Publication number (International publication number)：1994013198
Application date： Jun. 24, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 マイクロ波放電反応装置の電極装置で、マイクロ波電源を大きくすることなく、且つ生成されたプラズマの均一性の良好さを損なうことなく、マイクロ波の利用効率を高める。【構成】 給電されるマイクロ波と所定寸法関係で形成された星型でジグザグに折り曲げられた多数の直線状スリット部2Aを有する1本のスリット2を備えた平板状電極1と、この平板状電極に対して当該スリットの長さ方向と同方向の磁場を作るように形成された磁気回路5とにより電極装置を形成する。同軸線路4で電極装置に所定波長のマイクロ波を給電し、磁気回路の磁界とマイクロ波の電界と所定の相互作用によりプラズマを生成し、基板処理を行う。多数の前記スリット部が放射するマイクロ波による電界は、その方向が常に同じとなるので、その重ね合せ作用で強められる。その結果、マイクロ波の利用効率が高くなる。

Claim (excerpt)：

内部を減圧状態に保持する機構とガスを導入する機構を備える真空容器と、前記真空容器内にマイクロ波を導入して前記ガスをプラズマにするプラズマ発生機構と、このプラズマ発生機構と所定間隔をあけて設置される基板保持機構とによって構成されるマイクロ波放電反応装置において、前記プラズマ発生機構に含まれる電極装置であり、平板状電極の実質的に半径方向に形成され且つ前記平板状電極の円周方向に隣合って配列された複数のスリット部を有する全体としては1本のスリットが形成され、前記複数のスリット部のそれぞれから放射されるマイクロ波の電界が、前記平板状電極の円周方向において常に同じ方向を向くことを特徴とするマイクロ波放電反応装置の電極装置。

IPC (6)：

H05H 1/46 ,  B01J 19/12 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/302