両面研磨装置システム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：綿貫隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999105407
Publication number (International publication number)：2000296463
Application date： Apr. 13, 1999
Publication date： Oct. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】自転しない円運動をするキャリヤを備える両面研磨装置システムについて、ワークの給排を自動的且つ確実に効率良く行うこと。【解決手段】キャリヤの透孔内に配されたウェーハ10を、上下から挟むと共にウェーハ10に対して相対的に移動して研磨する上定盤及び下定盤と、キャリヤを自転しない円運動をさせてウェーハ10を旋回移動させるキャリヤ旋回運動機構とを備える両面研磨装置11のシステムにおいて、キャリヤ旋回運動機構に設けられ、キャリヤを所定の位置に停止させるキャリヤ停止手段と、キャリヤの透孔にウェーハ10を確実に供給すると共にキャリヤの透孔内からウェーハ10を確実に排出するため、ウェーハの保持機構52が先端部に設けられたアームロボット54、及びキャリヤの透孔及びウェーハ10にかかる形状及び位置を認識する画像処理装置を有するワーク給排手段50とを具備する。

Claim (excerpt)：

薄平板に複数の透孔が設けられて成るキャリヤと、該キャリヤの透孔内に配された板状の各ワークを、上下から挟むと共に該ワークに対して相対的に移動して研磨する上定盤及び下定盤と、前記キャリヤを、該キャリヤの面と平行な面内で自転しない円運動をさせ、前記透孔内で上定盤と下定盤との間に保持された前記ワークを旋回移動させるキャリヤ旋回運動機構とを備える両面研磨装置システムにおいて、前記キャリヤ旋回運動機構に設けられ、前記キャリヤを所定の位置に停止させるキャリヤ停止手段と、前記キャリヤ停止手段によって停止した前記キャリヤの透孔内に前記ワークを確実に供給すると共に前記キャリヤの透孔内から前記ワークを確実に排出するため、ワークの保持するワーク保持機構が先端部に設けられたアームロボット、及びキャリヤの透孔及びワークにかかる形状及び位置を認識する画像処理装置を有するワーク給排手段とを具備することを特徴とする両面研磨装置システム。

IPC (3)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 621 , H01L 21/304 622

FI (4)：

B24B 37/04 Z , B24B 37/04 F , H01L 21/304 621 A , H01L 21/304 622 G

F-Term (17)：

3C058AA07 , 3C058AA14 , 3C058AA18 , 3C058AB01 , 3C058AB03 , 3C058AB04 , 3C058AB06 , 3C058AB08 , 3C058AC01 , 3C058AC04 , 3C058BA07 , 3C058BB01 , 3C058BC01 , 3C058CB03 , 3C058CB05 , 3C058DA06 , 3C058DA18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

両面研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-008326 Applicant：不二越機械工業株式会社
特開昭63-144956
自動ウェーハラッピング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-141896 Applicant：エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド

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