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J-GLOBAL ID：200903058325848166

ラビング洗浄装置及びラビング洗浄方法

Inventor： 青柳 義則
Applicant, Patent owner： 鹿児島日本電気株式会社
Agent (1)： 堀 城之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999098361
Publication number (International publication number)：2000292793
Application date： Apr. 06, 1999
Publication date： Oct. 20, 2000
Summary：

【要約】【課題】 液晶表示パネルの製造コストをアップさせることなく、液晶表示パネルの表示品質を向上させるようにする。【解決手段】 イオナイザー3から洗浄用基板2の表面に+又は-のイオン6を当てて、洗浄用基板2の表面を帯電させた後、洗浄用基板2をTFT基板もしくはCF基板を流す合間に、ある頻度で流し、帯電させた洗浄用基板2の表面をラビングロール4で擦るようにし、ラビングロール4の使用回数制限を著しく低下させずに、静電気と擦ることによる物理的な力でラビングロール4に付着した異物を除去するようにする。

Claim (excerpt)：

配向膜が形成されたTFT基板及びカラーフィルター基板並びに洗浄用基板を載置するステージと、前記ステージの上方に配置され、前記洗浄用基板の表面に+又は-のイオンを当てて、前記洗浄用基板の表面を帯電させるイオナイザーと、前記TFT基板及びカラーフィルター基板に対してラビング処理を施すラビングロールとを備え、前記ラビングロールの洗浄時においては、前記帯電された洗浄用基板の電荷と前記ラビングロールに付着した異物間のクーロン力及び前記洗浄用基板を擦る物理的な力により、前記異物を前記洗浄用基板の表面に移動させることを特徴とするラビング洗浄装置。

IPC (2)：

G02F 1/1337 500 ,  B08B 11/00

FI (2)：

G02F 1/1337 500 ,  B08B 11/00 A

F-Term (12)：

2H090HC18 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  2H090LA04 ,  2H090LA15 ,  2H090MB03 ,  2H090MB04 ,  3B116AA02 ,  3B116AB42 ,  3B116BA02 ,  3B116BA14 ,  3B116BC01