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J-GLOBAL ID:200903058371410477
着色レジスト組成物およびその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
久保山 隆 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995288729
Publication number (International publication number):1997134004
Application date: Nov. 07, 1995
Publication date: May. 20, 1997
Summary:
【要約】【課題】 顔料の微粒化を可能にするミルベースの安定性を確保したうえで、レットダウン後、得られる塗膜の適正な現像性、感度をも確保した着色レジスト組成物を提供する。【解決手段】 (a)(メタ)アクリル酸と分子中にカルボキシル基を有しない(メタ)アクリル酸エステルとの共重合体からなり、ポリスチレン換算重量平均分子量が10,000〜60,000の範囲にあり、かつ希アルカリ性水溶液からなる現像液に可溶な低分子量バンイダーポリマー、(b)(メタ)アクリル酸と分子中にカルボキシル基を有しない(メタ)アクリル酸エステルとの共重合体からなり、ポリスチレン換算重量平均分子量が80,000〜130,000 の範囲にあり、かつ希アルカリ性水溶液からなる現像液に可溶な高分子量バンイダーポリマー、(c)光重合性モノマー、(d)顔料、(e)光重合開始剤、および(f)溶剤を含有する着色レジスト組成物。
Claim (excerpt):
(a)アクリル酸またはメタクリル酸と分子中にカルボキシル基を有しないアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルとの共重合体からなり、ポリスチレン換算重量平均分子量が 10,000 〜 60,000 の範囲にあり、かつ、希アルカリ性水溶液からなる現像液に可溶な低分子量バンイダーポリマー、(b)アクリル酸またはメタクリル酸と分子中にカルボキシル基を有しないアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルとの共重合体からなり、ポリスチレン換算重量平均分子量が 80,000 〜130,000 の範囲にあり、かつ、希アルカリ性水溶液からなる現像液に可溶な高分子量バンイダーポリマー、(c)光重合性モノマー、(d)顔料、(e)光重合開始剤、および(f)溶剤を含有してなることを特徴とする着色レジスト組成物。
IPC (6):
G03F 7/004 505
, B01F 3/12
, G02B 5/20 101
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/033
FI (6):
G03F 7/004 505
, B01F 3/12
, G02B 5/20 101
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/033
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