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J-GLOBAL ID：200903058374315599

シリコンナノパーティクルのパターニング方法及びこの方法に用いる有機分子

Inventor： 重川 秀実 ,  村上 浩一 ,  畠 賢治 ,  牧村 哲也
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 平山 一幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001159710
Publication number (International publication number)：2002353436
Application date： May. 28, 2001
Publication date： Dec. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】 シリコンナノパーティクルをサブマイクロメーターの精度でパターニングする方法及び自己組織化単分子膜の表面にSiナノパーティクルを選択吸着させる方法、並びにこの方法に用いる有機分子を提供する。【解決手段】 マイクロコンタクトプリンティング法によって、基板5上に、サブマイクロメーターの精度でパターニングされた自己組織化膜6を形成し、シリコンナノパーティクル7を基板5上に供給し、サブマイクロメーターの精度で、シリコンナノパーティクル層をパターニングする。

Claim (excerpt)：

マイクロコンタクトプリンティング法により、パターニングされた自己組織化膜を基板上に形成し、この基板上にシリコンナノパーティクルを供給し、上記自己組織化膜がシリコンナノパーティクルを吸着しないことを利用してパターニングすることを特徴とする、シリコンナノパーティクルのパターニング方法。

IPC (2)：

H01L 29/06 601 ,  H01L 33/00

FI (2)：

H01L 29/06 601 N ,  H01L 33/00 A

F-Term (2)：

5F041CA33 ,  5F041CA77

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記憶装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-008766   Applicant：株式会社日立製作所
• レジストを塗布してなる金属又は半導体基板およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-256183   Applicant：イーエムエム・インステイトゥート・フュア・ミクロテヒニーク・ゲーエムベーハー
• 生化学センサおよびこれを利用する生化学検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-221322   Applicant：株式会社日立製作所