ブラスト加工によるPDP用基板等のリブ形成方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福島英一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998122951
Publication number (International publication number)：1999300616
Application date： Apr. 16, 1998
Publication date： Nov. 02, 1999
Summary：

【要約】【目的】低圧空気を用いたブラスト加工の利点を生かしながら、PDP用のガラス基板等の硬質基板に対するリブ形成手段としてより効率的に適用し、作業性がよく安定した実用的なリブ形成方法を提供する。【構成】研磨材として少なくとも粒子の平均径の平均が15〜25μmのアルミナ粒子を用い、低圧空気発生手段からの吐出圧力が0.3〜0.7kgf/cm2の低圧空気流路中に前記アルミナ粒子を混入し、その空気流に乗せて同アルミナ粒子を12mm以上の口径又は同等の断面積を有するノズルより噴射しながら該ノズルの基板に対する相対移動速度を800mm/min以上に設定してブラスト加工を行うとともに、その際に前記ノズルの噴射口を通過するアルミナ粒子の供給量を3〜10g/cm2・sに設定し、かつ同アルミナ粒子の基板との衝突速度を60〜140m/sに設定する。

Claim (excerpt)：

研磨材として少なくとも粒子の平均径の平均が15〜25μmのアルミナ粒子を用い、低圧空気発生手段からの吐出圧力が0.3〜0.7kgf/cm2の低圧空気流路中に前記アルミナ粒子を混入し、その空気流に乗せて同アルミナ粒子を12mm以上の口径又は同等の断面積を有するノズルより噴射しながら該ノズルの基板に対する相対移動速度を800mm/min以上に設定してブラスト加工を行うとともに、その際に前記ノズルの噴射口を通過するアルミナ粒子の供給量を3〜10g/cm2・sとし、かつ同アルミナ粒子の基板との衝突速度を60〜140m/sとすることを特徴とするブラスト加工によるPDP用基板等のリブ形成方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

ブラスト加工方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-217474 Applicant：株式会社不二製作所
被加工物に付着した研掃材の除去方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-322019 Applicant：株式会社不二製作所
ウエハ保持台用セラミックス部材の作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-277657 Applicant：住友金属工業株式会社

Show all

Return to Previous Page