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J-GLOBAL ID：200903058377033659
セラミック酸化物被覆の硬質材料焼結体
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青木 朗 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992167706
Publication number (International publication number)：1993230620
Application date： Jun. 25, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 CVD法を改良し、それを用いて高品質のセラミック酸化物を強固に硬質材料焼結体に被覆し、それにより焼結体物品の性能を向上させること。【構成】 金属酸化物を生成するために金属のハロゲン化物と加水分解剤及び/或いは酸化剤とを含むガスと、S,P,Se,Te,As,Sb及び/或いはBiの単体或いはその化合物から成る反応物ドーパントガスに焼結体を接触させるCVD法を適用する。但し、CVD温度は800-1000°C、好ましくは850-970°Cに設定し、全ガス中のドーパントの体積濃度を0.25-3%、好ましくは0.3-1%に設定する。このCVD法により、セラミック酸化物の被覆層として、φ≦kx+dの関係にあるサイズ(φμm)でグレン化した層を焼結体に被覆する。但し、xは焼結体の平坦面の少くとも80%における層厚であり、kは0.5、好ましくは0.3であり、d=2μm(4<x<20の場合)、或いはd=0(0.5<x<4の場合)である。
Claim (excerpt)：
平坦面に較べ端縁が<80%肉厚になっている0.5-20μm厚の耐摩耗性セラミック酸化物の少くとも1層が少くとも局部的に被覆されている硬質材料焼結体において、該酸化物被覆層のグレンサイズ(φμm)がφ≦kx+dの関係にある、但しxが該焼結体の該平坦面の少くとも80%における層(μm)であり、k=0.5であり、そして4<x<20のときにはd=2μmであり、0.5<x<4のときはd=0である、ことを特徴とするセラミック酸化物被覆の硬質材料焼結体。
IPC (7)：
C23C 14/08
, B23B 27/14
, B23P 15/28
, B32B 9/00
, B32B 18/00
, C04B 41/88
, C23C 8/06
Cited by examiner (5)
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