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J-GLOBAL ID：200903058389745743

高圧放電灯および該放電灯を用いた半導体露光装置並びに映写装置

Inventor： 岩藤 泰博
Applicant, Patent owner： 東芝ライテック株式会社
Agent (1)： 波多野 久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993074243
Publication number (International publication number)：1994290754
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】光出力を低下させることなく、簡単な構成でランプ始動性を向上させ、ノイズの発生を抑制する。【構成】石英ガラス製バルブ1の発光空間内に一対の電極2,3を対向して配置した高圧放電灯において、バルブ1の発光空間内に突出した電極長さをLとするとき、バルブ1の少なくとも一方の電極を囲む外表面に、L/5〜Lの範囲に亘り導電性被膜4aまたは4bを形成し、この導電性被膜4aまたは4bを上記一方の電極と電気的に接続したものである。

Claim (excerpt)：

石英ガラス製バルブの発光空間内に一対の電極を対向して配置した高圧放電灯において、上記バルブの発光空間内に突出した電極長さをLとするとき、上記バルブの少なくとも一方の電極を囲む外表面に、L/5〜Lの範囲に亘り導電性被膜を形成し、この導電性被膜を上記一方の電極と電気的に接続したことを特徴とする高圧放電灯。

IPC (4)：

H01J 61/54 ,  G03B 21/00 ,  H01J 61/35 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭55-127273
  
• 特公昭54-009798
  
• 特開昭55-039824