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J-GLOBAL ID：200903058394547089
共焦点装置
田名網 健雄
About 田名網 健雄
Applicant, Patent owner：
横河電機株式会社
About 横河電機株式会社
Agent (1)： 渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997009991
Publication number (International publication number)：1998206740
Application date： Jan. 23, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：
【要約】【課題】 照射光の走査が不要な共焦点装置を実現する。【解決手段】 試料の立体形状を測定する共焦点装置において、光源と、この光源の出力光が照射される開口部と、試料上に開口部の像を結像させ、試料からの反射光を集光する対物レンズと、受光器と、開口部を通過した光を透過させて対物レンズに入射し、対物レンズからの出力光を受光器に反射させるビームスプリッタとを設ける。
Claim (excerpt)：
試料の立体形状を測定する共焦点装置において、光源と、この光源の出力光が照射される開口部と、前記試料上に前記開口部の像を結像させ、前記試料からの反射光を集光する対物レンズと、受光器と、前記開口部を通過した光を透過させて前記対物レンズに入射し、前記対物レンズからの出力光を前記受光器に反射させるビームスプリッタとを備えたことを特徴とする共焦点装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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特開平4-330412
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特開平3-134608
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特開平4-330412
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