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J-GLOBAL ID：200903058425243610

パターン膜被覆物品の製造方法および感光性組成物

Inventor： 南 努 ,  辰巳砂 昌弘 ,  忠永 清治 ,  松田 厚範 ,  河津 光宏 ,  中村 浩一郎 ,  山本 博章
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社 ,  南 努
Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000002881
Publication number (International publication number)：2001194780
Application date： Jan. 11, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 成膜性が優れ、光照射後の現像において光未照射部の膜を完全に除去することができ、パターン精度に優れたパターン膜被覆物品の製造方法および感光性組成物を提供する。【解決手段】感光性を有する有機金属化合物および加水分解性金属アルコキシドを含む感光性組成物を基材上に塗布し、光照射して塗布膜の露光部を重合させた後、非露光部を溶解、除去するパターン膜被覆物品の製造方法において、前記有機金属化合物はアリル基含有金属アルコキシドであることを特徴とするパターン膜被覆物品の製造方法である。

Claim (excerpt)：

感光性を有する有機金属化合物および加水分解性金属アルコキシドを含む感光性組成物を基材上に塗布し、光照射して塗布膜の露光部を重合させた後、非露光部を溶解、除去するパターン膜被覆物品の製造方法において、前記有機金属化合物はアリル基含有金属アルコキシドであることを特徴とするパターン膜被覆物品の製造方法。

IPC (3)：

G03F 7/027 501 ,  C08J 7/04 ,  C08L101/02

FI (3)：

G03F 7/027 501 ,  C08J 7/04 Z ,  C08L101/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 物干し竿構造及び物干し竿用引掛具
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-257511   Applicant：各務稔, 三宅富士子
• 特公昭57-000803