Pat
J-GLOBAL ID：200903058427764382
被覆セラミック部材及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 勝成 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992022057
Publication number (International publication number)：1993186287
Application date： Jan. 10, 1992
Publication date： Jul. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】 高硬度で摩擦係数の小さい非晶質の硬質炭素膜の被覆層を備え、耐摩耗性や摺動特性に優れた被覆セラミック部材及びその製造方法を提供する。【構成】 セラミック基材の表面上にイオン注入蒸着法により膜厚50〜5000Åの非晶質のシリコン中間層を設け、このシリコン中間層の上にPVD法又はプラズマCVD法により1000Å〜3μmの非晶質の硬質炭素膜を被覆してなる被覆セラミック部材。
Claim (excerpt)：
セラミック基材と、セラミック基材の表面上に直接設けられた膜厚50〜5000Åの非晶質のシリコン中間層と、シリコン中間層の上に設けられた膜厚1000Å〜3μmの非晶質の硬質炭素膜とからなることを特徴とする被覆セラミック部材。
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
