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J-GLOBAL ID:200903058431059022

回折格子アレイの照明方法および照明装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994229811
Publication number (International publication number):1996095479
Application date: Sep. 26, 1994
Publication date: Apr. 12, 1996
Summary:
【要約】【目的】回折格子の作製を容易に行ないつつ、より明るい再生パターンを得ることを目的とする。【構成】回折格子アレイを照明するための互いに色が異なる照明光を発生する複数個の照明光源と、各照明光源からのそれぞれの照明光を、回折格子アレイにおける同一の回折格子要素に、各照明光毎にそれぞれ互いに異なった角度で入射させるように走査する走査要素とを備え、互いに色が異なる複数の照明光を、回折格子アレイにおける同一の回折格子要素に、各照明光毎にそれぞれ互いに異なった角度で入射させて照明する。
Claim (excerpt):
平面状の基板の表面に微小な回折格子からなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個配置し、当該ドットの集まりによって表現されるパターン(マルチドットパターン)を有する回折格子アレイを照明する方法において、互いに色が異なる複数の照明光を、前記回折格子アレイにおける同一の回折格子要素に入射させて照明するようにしたことを特徴とする回折格子アレイの照明方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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