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J-GLOBAL ID：200903058448966490

電子放出素子およびその製造方法、ならびにこれを用いたディスプレイ装置

Inventor： 川崎 明朗
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998294149
Publication number (International publication number)：2000123713
Application date： Oct. 15, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 駆動電圧が小さく、放出電子密度が大きい電界放出型の電子放出素子およびその製造方法、ならびにこれを用いたディスプレイ装置を提供する。【解決手段】 単位電子放出素子の電子放出部分となる開口17の平面形状を6角形とし、その底部にカーボン膜18を形成する。このカーボン膜18の表面は微細突起を有し、カソード電極ライン13表面より基板11側に位置する。

Claim (excerpt)：

基板上に、複数のカソード電極ラインと、絶縁層と、該カソード電極ラインと直交する複数のゲート電極ラインとを、この順に有するとともに、前記カソード電極ラインと前記ゲート電極ラインの交叉領域において、該ゲート電極ラインおよび前記絶縁層には、該カソード電極ラインに臨む複数の開口を有する電子放出素子であって、前記開口の平面形状は、いずれも6角形をなし、隣り合う該開口は、該開口の側壁を隣接して最密充填配置されていることを特徴とする電子放出素子。

IPC (4)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12

FI (4)：

H01J 1/30 F ,  H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C

F-Term (11)：

5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C036EE01 ,  5C036EE02 ,  5C036EE03 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12 ,  5C036EH01 ,  5C036EH17