Pat
J-GLOBAL ID：200903058493373912
酸感応性共重合体、レジスト組成物及びレジストパタ-ンの形成方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999014479
Publication number (International publication number)：2000212221
Application date： Jan. 22, 1999
Publication date： Aug. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 実用可能な感度を有していて、膨潤のない微細なレジストパターンを形成できるレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 化学増幅型のレジスト組成物で使用される酸感応性共重合体において、第1のモノマー単位の側鎖に結合した、保護基で保護されたカルボキシル基の保護基が、次式(I):【化1】(式中のR1は水素又はその他の置換基であり、Lは結合基を表し、nは1〜4の整数である)からなり、かつ第2のモノマー単位が、その側鎖に結合した、酸に対して不安定な保護基で保護された酸性官能基を有するように構成する。
Claim (excerpt)：
2種類もしくはそれ以上のモノマーの共重合によって形成された共重合体であって、(1)自体塩基性水溶液に不溶であり、但し、前記共重合体の第1のモノマー単位の側鎖に結合した、保護基で保護されたカルボキシル基からその保護基が酸の働きにより脱離した場合に、塩基性水溶液に可溶となり得、(2)前記カルボキシル基の保護基が、次式(I)により表される酸無水物部分:【化1】(上式において、R1は、水素原子を表すかもしくは、アルキル基、アルコキシ基及びアルコキシカルボニル基からなる群から選ばれる1個もしくはそれ以上の置換基を表し、複数のR1置換基が含まれる場合には、それらの置換基は同一もしくは異なっていてもよく、Lは、存在しないかもしくは1〜6個の炭素原子を有する直鎖もしくは分岐鎖の炭化水素基からなる結合基を表し、そしてnは1〜4の整数である)からなり、(3)前記共重合体の第2のモノマー単位が、その側鎖に結合した、酸に対して不安定な保護基で保護された酸性官能基をさらに含有し、そして(4)2,000〜1,000,000の重量平均分子量を有していることを特徴とする、酸感応性共重合体。
IPC (3)：
C08F 20/02
, C08F 8/04
, G03F 7/039 601
C08F 20/02
, C08F 8/04
, G03F 7/039 601
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025BJ04
, 2H025CC03
, 2H025FA01
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100BA11P
, 4J100BC26Q
, 4J100BC55P
, 4J100CA04
, 4J100DA61
, 4J100JA38
