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J-GLOBAL ID:200903058496137004

微粒子膜とその形成方法並びにその装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西澤 利夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995038894
Publication number (International publication number):1996229474
Application date: Feb. 27, 1995
Publication date: Sep. 10, 1996
Summary:
【要約】【構成】 移流集積によって、粒径がナノメートルオーダーの微粒子の単粒子膜、多粒子膜の形成において、高分子からなるLB膜または界面膜をバインダー層として用い、粒子薄膜の形成を制御するとともに転写基板に固定する。【効果】 単粒子膜、多粒子膜を制御性よく基板上に形成し、これを固定することが可能となる。
Claim (excerpt):
固体基板上に配設した両親媒性分子からなるバインダー層の表面に、単層もしくは多層のナノメートルスケール微粒子凝集膜が固定されていることを特徴とする微粒子膜。
IPC (3):
B05C 3/09 ,  B01J 19/00 ,  B05D 1/18
FI (4):
B05C 3/09 ,  B01J 19/00 M ,  B01J 19/00 K ,  B05D 1/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平3-028190
  • 特開平1-273005
  • 特開平1-297173

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