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J-GLOBAL ID：200903058513448752

研磨装置

Inventor： 野田 一房
Applicant, Patent owner： 株式会社雄島試作研究所
Agent (1)： 三浦 邦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994092174
Publication number (International publication number)：1995299712
Application date： Apr. 28, 1994
Publication date： Nov. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 回転駆動される研磨材に対してワークに該研磨材との相対回転運動を与える研磨装置において、小型で、研磨材の回転軸とワークの偏心回転軸の平行度を高い精度で保証できる研磨装置を得ること。【構成】 筒状外側回転体内に、相対回転自在に内側回転体を支持し、この筒状外側回転体と内側回転体を別々に回転駆動する手段を設け、この内側回転体の偏心位置に穿設した偏心孔内に、該偏心孔との相対回転を自在にして偏心軸を嵌め、この偏心軸の内側回転体の回転に伴う偏心移動を許容しながら、その自転を拘束する自転拘束手段を設けたものであって、外側回転体と偏心軸のいずれか一方に研磨材の保持部を設け、他方に、この研磨材と接触するワークの支持部を設けた研磨装置。

Claim (excerpt)：

筒状外側回転体;この筒状外側回転体内に、該筒状回転体に対して相対回転自在に支持された内側回転体;この筒状外側回転体と内側回転体を別々に回転駆動する手段;この内側回転体の偏心位置に、該内側回転体の軸と平行に穿設した偏心孔;この偏心孔内に、該偏心孔との相対回転を自在にして嵌めた偏心軸;この偏心軸の内側回転体の回転に伴う偏心移動を許容しながら、その自転を拘束する自転拘束手段;及び、上記外側回転体と偏心軸のいずれか一方に設けられた研磨材の保持部と、他方に設けられた、この研磨材と接触するワークの支持部;を備えたことを特徴とする研磨装置。

IPC (4)：

B24B 7/04 ,  B24B 13/00 ,  B24B 37/00 ,  B24B 47/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭64-064769
  
• 特開昭57-041154
  
• 特開昭64-064769
  
• 特開昭57-041154