Pat
J-GLOBAL ID:200903058535913750
窒化アルミニウムベースの硬い耐摩耗性コーティング
Inventor:
,
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Applicant, Patent owner:
Agent (3):
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2007508791
Publication number (International publication number):2007532783
Application date: Apr. 18, 2005
Publication date: Nov. 15, 2007
Summary:
組成AlxSiyMezNの窒化アルミニウムベースの硬い耐摩耗性コーティングが提案される。x、yおよびzは原子分率を表し、その和は0.95から1.05であり、Meは、IIIからVIII族およびIb族の遷移金属の金属ドーパントまたはこれらの組合せである。この金属は、コーティングプロセス中に、金属ドーピングのないコーティングよりも高い固有導電率(intrinsic electrical conductivity)を提供する。ケイ素含量は0.01≦y≦0.4であり、1つまたは複数の金属ドーパントMeの含量は、0.001≦z≦0.08、好ましくは0.01≦z≦0.05、最も好ましくは0.015≦z≦0.045である。
Claim (excerpt):
AlxSiyMezNで表される組成の窒化アルミニウムを基礎とする硬い耐摩耗性被膜であって、x、yおよびzが原子分率を表し、その和が0.95から1.05であり、Meが、IIIからVIII族およびIb族の遷移金属の構成員、及びこれらの構成員のうちの2つ以上の組合せからなる群の金属ドーパントであり、前記構成員が、前記金属ドーピングのない被膜よりも高い固有導電率を提供し、ケイ素含量が0.01≦y≦0.4であり、前記1つまたは複数の金属ドーパントMeの含量が、0.001≦z≦0.08、好ましくは0.01≦z≦0.05、最も好ましくは0.015≦z≦0.045である被膜。
IPC (7):
C23C 14/06
, C23C 14/34
, C23C 14/32
, C23C 14/22
, B23B 51/00
, B23B 27/14
, B23C 5/16
FI (8):
C23C14/06 L
, C23C14/06 A
, C23C14/34 N
, C23C14/32 Z
, C23C14/22 C
, B23B51/00 J
, B23B27/14 A
, B23C5/16
F-Term (42):
3C037CC02
, 3C037CC04
, 3C046FF03
, 3C046FF04
, 3C046FF05
, 3C046FF09
, 3C046FF13
, 3C046FF16
, 3C046FF20
, 3C046FF21
, 3C046FF25
, 4K029AA02
, 4K029AA04
, 4K029BA58
, 4K029BB02
, 4K029BC02
, 4K029BD03
, 4K029BD05
, 4K029CA01
, 4K029CA03
, 4K029CA05
, 4K029CA08
, 4K029DB03
, 4K029DB04
, 4K029DB17
, 4K029DC03
, 4K029DC04
, 4K029DC39
, 4K029DD06
, 4K029EA01
, 4K044AA02
, 4K044AA09
, 4K044AA13
, 4K044AB04
, 4K044AB10
, 4K044BA10
, 4K044BA18
, 4K044BA19
, 4K044BB01
, 4K044BB03
, 4K044BC06
, 4K044CA13
Patent cited by the Patent: