Pat
J-GLOBAL ID:200903058541192259
露光装置および露光方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
伊東 哲也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000350817
Publication number (International publication number):2002158155
Application date: Nov. 17, 2000
Publication date: May. 31, 2002
Summary:
【要約】【課題】 原版の周辺の露光ビーム光路における光吸収損失の低減と原版交換時間の短縮を両立させて実現し、高スループットの露光装置を提供する。【解決手段】 原版1上のパターンを光学系2を介して基板に転写する露光装置において、前記原版の露光位置を包囲する第1の筐体20と、前記原版を保管する第2の筐体17と、前記第1の筐体の内部と外部で前記原版を受け渡す第3の筐体11とを設け、各筐体の内部を所定の雰囲気に制御する。
Claim (excerpt):
原版上のパターンを光学系を介して基板に転写する露光装置において、前記原版の露光位置を包囲する第1の筐体と、前記原版を保管する第2の筐体と、前記第1の筐体の内部と外部で前記原版を受け渡す第3の筐体とを有し、各筐体の内部を所定の雰囲気に制御することを特徴とする露光装置。
IPC (4):
H01L 21/027
, G03F 7/20 502
, G03F 7/22
, H01L 21/68
FI (4):
G03F 7/20 502
, G03F 7/22 H
, H01L 21/68 A
, H01L 21/30 516 F
F-Term (36):
2H097AA03
, 2H097BA02
, 2H097BA10
, 2H097CA13
, 2H097DA03
, 2H097DA06
, 2H097GB01
, 2H097LA10
, 5F031CA07
, 5F031DA08
, 5F031DA11
, 5F031DA17
, 5F031EA14
, 5F031FA04
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA02
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA50
, 5F031JA01
, 5F031JA23
, 5F031JA45
, 5F031JA50
, 5F031MA13
, 5F031MA27
, 5F031NA04
, 5F031NA05
, 5F031NA08
, 5F031NA11
, 5F031PA06
, 5F046AA22
, 5F046DA27
, 5F046DB03
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