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J-GLOBAL ID：200903058546785630

液晶表示装置とその製造方法

Inventor： 阿武 恒一 ,  河内 玄士郎
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992243015
Publication number (International publication number)：1994095147
Application date： Sep. 11, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明は、特性を低下させずに金属酸化物透明導電膜を形成し、前記透明導電膜パターン作成を容易にすることを目的とする。【構成】金属酸化物透明導電膜の母材となる金属を用いて、画素電極7や補助容量電極12の所望のパターンを作成した後、画像信号電極配線8より電流を供給して、前記金属パターンを水溶液又は酸素プラズマ中で陽極酸化することにより、金属酸化物透明導電膜パターンを形成することを特徴とする液晶表示装置とその製造方法。【効果】パターニング時のエッチング残渣による不良を低減する効果がある。また形成された金属酸化物透明導電膜の特性を低下させることもない。

Claim (excerpt)：

マトリクス状に配置された複数個の画像信号電極配線と非線形素子と画素電極を備えた液晶表示装置において、金属酸化物透明導電膜の母材となる金属を用いて作成された金属不透明画素電極を、画像信号電極配線より電流を供給し陽極酸化法を用いて酸化して、金属酸化物透明画素電極とする工程を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (2)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/784

FI (2)：

H01L 29/78 311 A ,  H01L 29/78 311 G