レーザ装置、レーザ加工装置及びレーザ加工方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高橋敬四郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002095926
Publication number (International publication number)：2003290963
Application date： Mar. 29, 2002
Publication date： Oct. 14, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】加工用のレーザビームの波長を容易に変えることが可能なレーザ装置を提供する。【解決手段】レーザ光源1が、直線偏光のレーザビームを出射する。レーザ光源から出射されたレーザビームが偏光制御素子2に入射する。偏光制御素子は、入射したレーザビームの偏光方向を旋回させ、その旋回角度が可変である。偏光制御素子によって偏光方向を制御されたレーザビームが波長変換素子3に入射する。波長変換素子は、入射したレーザビームの波長を変換する。波長変換効率は、入射したレーザビームの偏光方向によって異なる。

Claim (excerpt)：

直線偏光のレーザビームを出射するレーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザビームが入射し、入射したレーザビームの偏光方向を旋回させ、旋回角度が可変である偏光制御素子と、前記偏光制御素子によって偏光方向を制御されたレーザビームが入射し、入射したレーザビームの波長を変換する波長変換素子であって、波長変換効率が、入射したレーザビームの偏光方向によって異なる前記波長変換素子とを有するレーザ装置。

IPC (4)：

B23K 26/06 , G02F 1/03 502 , G02F 1/37 , B23K101:42

FI (5)：

B23K 26/06 E , B23K 26/06 Z , G02F 1/03 502 , G02F 1/37 , B23K101:42

F-Term (15)：

2H079AA02 , 2H079BA02 , 2H079CA24 , 2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002BA03 , 2K002CA02 , 2K002GA04 , 2K002HA20 , 4E068AF01 , 4E068CA04 , 4E068CB10 , 4E068CD08 , 4E068DA11 , 4E068DB14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

波長切り換え可能なレーザーにもとづいてエッチングした回路ボードの処理システム
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-543296 Applicant：エレクトロサイエンティフィックインダストリーズインコーポレーテッド
レーザ穴あけ加工方法及び加工装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-207187 Applicant：住友重機械工業株式会社
レーザリペア装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-273304 Applicant：株式会社ニコン

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